石英ガラス研削における極微粒ダイヤモンド砥粒切れ刃の変化に関する研究

摘要

本研究では，石英ガラスを加工物とした研削加工過程において，極微粒ダイヤモンドホイール表面を白色光干渉方式の高精度非接触3次元表面性状測定機により機上観察し，砥粒切れ刃状態の変化が研削抵抗と表面粗さに与える影響について検討した．またクリープフィード研削の有効性を，加工面に生じるき裂深さの観点から検討した．