高圧水素プラズマ化学輸送法を用いたダイヤモンド合成技術の開発

摘要

そこで本研究では，この廉価で安全な木炭からダイヤモンドなどの機能性炭素膜を作製する手法として大気圧水素プラズマ化学輸送法（Atmospheric-Pressure Plasma Enhanced Chemical Transport：APECT）［1］の適用を目指している．ここで，天然材料である木炭は，その特性にばらつきが有り，APECT 法によりダイヤモンド合成する際に重要となる因子の発見を阻害する要因となる．そこで，APECT 法による木炭原料からダイヤモンド膜形成の実現に向け，まず APECT 法により固体炭素原料からダイヤモンド合成を実現するための条件確立を目指し，ターゲット原料としてその物性がよく規定された工業用グラファイトを用いて，ダイヤモンドの合成実験を行った．今回は，その結果について報告する．