光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第2報）～レーザトラッピングされたマイクロ球によるイメージング

摘要

本研究では図1に示すような光放射圧プローブを用いて形状と表面微細形状の計測を行う手法を提案している．光放射圧プローブとは，光放射圧によってレーザトラッピングされたマイクロ球を用いて形状を座標計測可能な三次元座標測定器（CMM）のプローブのことである．座標計測においては計測可能な形状サイズがマイクロ球の球径によって制限され，表面微細形状は計測することができない．本研究では，マイクロ球をレンズとして利用して表面微細形状のイメージングを行い，そのイメージングを基にした焦点検出法による表面微細形状計測手法を提案している．第1報では，マイクロピペットにより保持したマイクロ球による試料耐に対して非接触状態でのイメージングが可能であることを明らかにした．そこで，本報ではレーザトラッピングされたマイクロ球によりイメージングが可能であることを明らかにするために，レーザトラップ光学系に結像光学系を搭載した装置を構築して検証することを目的としている．