光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第4報）振動型光放射圧プローブを実装したハイブリッド計測器の構築

摘要

本研究では光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術を提案している．光放射圧プローブとは，集光レーザによって生じる光放射圧を用いて大気中で微小球を三次元的に捕捉し，幾何形状計測のプローブとして用いる技術である．本提案手法は，更に試料表面の観察を捕捉した微小球のレンズ効果から行うものであり，部品形体の幾何形状計測と高分解能な表面形状評価を計測器同軸上で実現できると考えられる．先行研究によって，捕捉球を幾何形状計測のプローブとして利用する有用性，及び表面観察のレンズとして利用する可能性が示されてきた．そこで本報では，これらの技術を統合した光学系の構築と，基礎的な動作検証について報告する．