画像測定機によるX 線CT 装置用検出器画像ひずみ基準器の評価

摘要

X 線CT 装置は、優れた非破壊検査装置として利用されてきたが、最近では、計測の機能を付加した内部形状計測用X 線CT 装置が開発されている。しかし、形状測定の精度の評価やトレーサビリティの確保が充分でない。そのため、測定精度を決める要因の一つである、検出器の画像ひずみを評価するため、金属製の基準器を開発したので、画像測定機を用いて、その有用性を評価したいと考えた。画像測定機による形状測定は、非接触であること、接触式より小さな構造物を計測することができることなどから、この評価に適しているが、金属試料などの実用試料では、表面性状やエッジの粗さなどから、形状計測の精度評価は難しい。そこで、本研究では、X 線CT 装置の検出器の画像ひずみ評価用基準器を、画像測定機で形状計測する際の不確かさ要因について評価した。