SPring-8 における大型X 線ミラーのためのスティッチング干渉計法に基づく高精度表面形状計測装置の開発MSI (Microstitching Interferometry)とRADSI (Relative Angle Determinable Stitching Interferometry)

摘要

シンクロトロン放射光施設において，ミラー光学素子はX線ビームラインで集光，光の平行化，高調波カットなどに用いられ，ビームライン光学系の構成要素として欠かすことのできないものである．近年の光源性能の向上とともに，発生したX 線の質すなわち強度を損なわず波面を乱さない光学素子が要求されている．X 線ミラーは斜入射角を全反射角未満の数mrad 程度に設計するためX 線によって照明される領域はX 線光軸方向に数10mm～数100mm，光軸垂直方向に数mm 程度と非常に細長い．ミラー表面は，平面，円筒面や楕円面であり，多くの場合100mm 長さに対して数μm 程度の凹面形状である．このようなミラー光学素子に対してナノメートル単位の形状計測が必要とされている．