レーザ誘導方式深穴評価プローブの開発― 異径穴対応型設計

摘要

超深穴の形状精度を評価する目的で深穴評価プローブ（直径110mm）を製作し，真直度，真円度，穴径等の形状精度の測定が可能であることを明らかにしてきた．本研究では，直径100～600mmの範囲で深穴の形状精度が測定できるプローブの設計·製作する．さらに測定装置の改良および精度向上を行い，直径110mmで測定精度を調べる．