定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究(第4報)－定在波シフトによる変調散乱光観察実験

摘要

半導体分野やバイオテクノロジー分野では測定対象の微小化が急速に進hでおり，ナノテクノロジーを支える基盤技術としてナノ計測技術にはより高分解能でアプリケーションに富hだ新しい手法の開発が期待されている．主な高分解能計測手法を分類すると，STMやAFMなどの走査型プローブ顕微鏡，SEMやTEMなどの電子顕微鏡，そして光学顕微鏡がある．光学顕微鏡は非破壊·非接触計測であるためスループットや物性計測の点で非常に優れている．しかし回折限界による横分解能の限界が数百nm程度であるという問題を抱えている．回折限界を突破する分解能（超解像）の必要性が高まるなかで共焦点顕微鏡やエバネッセント蛍光顕微鏡[1]などが開発されてきた．以上の背景の下，著者らは定在エバネッセント光を照明光に用い，シフトによって得られた複数枚の画像から解像向上を行う超解像顕微法の開発を進めている．これまでに高いロバスト性を持って像復元を行う超解像アルゴリズムを提案するとともに，提案手法が100nm以下の解像能力を有していることを計算機シミュレーションにより示した[3]．本報では提案手法を実験的に検討するために，離散的なサンプルとして，蛍光粒子を用いた変調散乱光観察実験を行ったのでここに報告する．