ガラス切削加工における切れ刃粗さが仕上げ面に及ぼす影響

摘要

近年，ガラスデバイスは光学やバイオ産業において需要が高まっている．従来，ガラスの微細加工にはフッ酸を使用したウェットエッチングが適用されてきたが，加工の柔軟性やコストの観点からいくつかの問題が挙げられている．以上の背景を踏まえ，本研究ではガラスの微細切削加工技術の開発を目的としている．ガラスは弾性域や塑性域が極めて小さいため，その切削においては，金属切削と比べ切れ刃の凹凸が仕上げ面粗さに及ぼす影響が大きい．著者らは既にガラス切削において，工具回転軸を送り方向に傾け，良好な加工面が得られることを示してきた．本報では，切れ刃の粗さを考慮したエンドミルの切削過程をモデル化し，工具回転軸の傾斜によって良好な仕上げ面を得られることを解析的に示す．