Mit Multischichten lassen sich durch geeignete Einstellung der Brechungsindizes und Dicken der einzelnen Schichten Grundstrukturen von verschiedenen optischen Filtern realisieren. In diesem Beitrag werden optische Multischichten vorgestellt, bei denen die einzelnen Schichten durch poroses Si als quasi dielektrische Schichten gebildet werden. In der vorgestellten Arbeit werden die unterschiedlichen Schichtstrukturen mit dem Simulationsprogramm Macleod analysiert, um die erforderlichen Schichtparameter zu bestimmen und deren Einfluss auf die spektralen Eigenschaften der entstehenden Struktur zu verstehen. Weiterhin werden die Einflusse der Herstellungsparameter, wie z.B. Substratdotierung und Anodisierungsbedingungen, auf die spektrale Anderung untersucht und die gemessenen und simulierten Ergebnisse verglichen. Durch thermische Oxidation wechselt die hydrophobe native porose Siliziumschicht ihren Charakter in hydrophil, wodurch die Benetzung der Oberflache speziell fur wassrige Losungen deutlich verbessert wird. Gleichzeitig wird die grosse innere Oberflache der porosen Struktur stabilisiert, wodurch eine bessere Langzeitstabilitat erreicht werden kann. Die optischen Filterstrukturen verandern durch Beladung mit organischen und wassrigen Losungen ihre optischen Eigenschaften, was z.B. zu einer messbaren Wellenlangenverschiebungen im Reflektionsspektrum fuhrt und als primarer sensorischer Effekt fur Biosensoren genutzt wird.
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