Untersuchung eines Mikroplasmas fur die Anwendung in einem Mikromassenspektrometer

摘要

In dieser Arbeit wird die Untersuchung und Optimierung des Mikroplasmas beschrieben, das als Elektronenquelle fur die Elektronenstossionisation im planar integrierten Mikromassenspektrometer (PIMMS) [1] genutzt wird. Verschiedene Auslegungen der Elektroden der Plasmakammer sind getestet und charakterisiert worden. Mittels der durchgefuhrten Anderungen im Profil der Elektroden werden der Leistungsverbrauch und der Betriebsdruck abgesenkt. Die Elektronenausbeute wird durch die Reduzierung des Dunkelraumes im Plasma maximiert. Dies fuhrt zu einer Erhohung der Ionisationsrate des Probegases und damit zu erhohten Ionenstromen am Detektor des PIMMS.