Plasma heating; RF heating; SPL; Plasma generator; RF power coupling; Plasma impedance; H~- source; Plasma detuning;
机译:第六次国际电力和能源系统会议(CPESE 2019),2019年9月20日至23日,冲绳,日本表面介质屏障放电等离子体发生器的阻抗匹配研究
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