クリーンルームにおけるガラス基板表面異物の可視化計測法

摘要

フラットパネルディスプレイを製造する際に、工場などのクリーンルームにおいてガラス基板上に付着する微粒子など異物が原因で製品の寿命や品質に関わることがあり、その対策が必要とされている。従来の基板上汚染粒子計測法では機器が高コストであること、測定視野が小さいことにより大視野での精密迅速な検査が難しいということ、実験室などで簡便な表面計測、実験用基板のバックグラウンド検査には利用しにくいという問題があり、有効な検査法、装置の開発が望まれていた。