Fur die hochgenaue beruhrungslose Vermessung spiegelnder Oberflachen wie Linsen oder Spiegel werden meist interferometrische Verfahren verwendet. Diese liefern Formdaten hoher Gute, die Anpassung der Aufbauten an die Oberflachenform und die Kalibrierung sind jedoch zeitaufwendig und die Messung ist i. Allg. sehr storanfallig gegenuber Um-welteinflussen wie mechanischen Schwingungen oder Temperaturgradienten. In diesem Beitrag zeigen wir die Eignung der beruhrungsfrei und schnell arbeiteten Deflek-tometrie zur hochgenauen Oberflachenvermessung. Das Verfahren basiert auf der Aufnahme eines durch das Objekt gespiegelten bekannten Musters mittels einer Kamera. Hierbei werden Sinusmuster als Referenz verwendet. Mittels des Phasenschiebeverfahrens kann ein direkter Zusammenhang zwischen Referenzmusterkoordinaten und Sensorkoordinaten ermittelt werden. Unter Annahme eines konstanten, bei der Messung einzustellenden Abstands eines Punktes auf der Objektoberflache zum Messsystem konnen aus den Messdaten Oberflachengradienten ermittelt werden. Diese konnen durch Differenziation nach dem Ort in Krummungsdaten uberfuhrt werden, welche die lokalen Abweichungen des Oberfla-chenwinkels darstellen und somit ideal zur Detektion von Kratzern und lokalen Fehlstellen geeignet sind. Zusatzlich kann durch Integration der Gradientendaten die Objektform rekonstruiert werden. Die Ungenauigkeit des angenommenen Objektabstands wirkt sich praktisch nicht auf die berechneten Gradienten- und Krummungsdaten aus, in der rekonstruierten Oberflachenform tritt jedoch ein auf diese Ungenauigkeit zuruckzufuhrender Fehler mit parabolischer Form auf.
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