Auswertung dreidimensionaler Oberflachendaten mit Riefentexturen: Evaluierung interferometrischer Messdaten mit Riefentexturen und Formanteil

摘要

Werkstucke mit geschliffener, geraumter und gefraster Oberflache weisen haufig Mikrotexturen auf, die aus stochastisch verteilten Riefen bestehen. Im Rahmen dieses Beitrages werden Tiefendaten genutzt, die mit einem Weisslicht-Interferometer erfasst sind. Das Tiefenbild wird als eine Zusammensetzung von Formanteil, Riefentextur und Hintergrund betrachtet Zuerst wird der zylindrische Formanteil durch robuste Parameterschatzung eliminiert. Dann werden Ausreisser durch ein adaptives mittelgewichtetes Median-Filter (ACWM) identifiziert Die wegen Sensorunzulanglichkeiten undefinierten Bereiche werden auf Basis eines Membranmodells interpoliert Ein Algorithmus fur die Extraktion von Riefentexturen wird prasentiert. Diese Zerlegung ermoglicht eine separate Auswertung unterschiedlicher Komponenten der Oberflache.