タンタル及びタングステンドープ酸化バナジウム膜の形成

摘要

ボロメータ型赤外線センサの検知部材料として当研究室では、抵抗の温度係数値が高く、抵抗率が低い、タンタルドープ酸化バナジウムの検討を行っている。また、タングステンドープ酸化バナジウムでは、抵抗率が急激に変化する温度を低温側にシフトさせられることが報告されている。