Si/MnSi_(1.7)積層膜の作製と磁気的性質の評価

摘要

この半世紀、成長著しいエレクトロニクス分野の中で、回路技術や情報処理の発達·台頭も然ることながら、最も大きな存在であったのはSiを主とした半導体だろう。