Cuクラスターの堆積シミュレーション

摘要

数個から数千個程度の原子や分子を会合させると、ナノメートルサイズの超微粒子ができあがる。これを総称して「ナノクラスター」と呼hでいる。ナノクラスターは一般に、バルク物質とも原子ともまったく異なる化学的·物理的性質を持ち、さらにその性質がサイズによって顕著に変化するという特徴を持っている。　近年、自由クラスター独特の特徴を維持して薄膜を作る方法について研究がなされている。BromannらはAr雰囲気中で白金基板にAgクラスターを堆積させるとAgクラスターが破壊せずに堆積することを明らかにしている［1］。RatnerらはCu_2とArの衝突のシミュレーションを行っている［2］。彼らによると多数のArが存在する環境ではCu_2の形状を制限することにより入射されたCu_2の分裂を抑制することができる。それゆえ、不活性ガスの付加は非分散的な堆積を達成するための有望な方法である。