ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）真空蒸着膜の構造解析

摘要

真空蒸着法は，真空技術を利用した薄膜形成技術の中でも簡便であるため，よく利用される成膜方法の一つである．高分子材料であるポリテトラフルオロエチレン（PTFE）は金属やゴム基板上に成膜することで基板の腐食防止やすべり性向上が期待されている．われわれは真空蒸着法において，基板の温度を変化させると薄膜の濡れ性や密着力が変化するという報告をしてきた1）．本研究では真空蒸着によるPTFE薄膜の成膜を行い，基板温度を変化させ，薄膜の形態とその構造について調べたので報告する．