直動空気圧サーボ弁

摘要

弁に用いられているアナログセンサはLVDT（差動変圧器）である。分解能はデジタルセンサに匹敵するものと考えられるが、出力信号に励磁周波数やその数倍の搬送波が重畳されているため、現状の制御回路では高いループゲインによる、高速·高精度な弁にすることが難しい。本報ではアナログセンサを用いた弁について、より高速·高精度の応答を得るための制御回路を提案し、その試作結果を報告する。