CVD diamond film; EDM; CMP; Electroless nickel-phosphorous;
机译:CVD金刚石膜的EDM抛光研究
机译:通过干磨抛光工艺在独立式金刚石膜的基材侧生产镜面金刚石膜表面
机译:CVD涂层金刚石盘对CMP焊盘表面微观纹理和波兰性能的影响
机译:通过EDM和CMP的组合抛光独立式CVD金刚石薄膜
机译:用于超低介电常数层间电介质应用的含氟和碳的PECVD膜和类金刚石碳膜的研究。
机译:新型金刚石薄膜合成策略:无氢的微波等离子体CVD法制备甲醇和氩气氛
机译:CVD金刚石薄膜的EDm抛光研究