硫酸/過酸化水素水溶液における銅の溶解速度に対する添加剤の効果

摘要

近年の急速な電子産業の発展により、電子機器のさらなる高性能化由小型化が求められている。 この小型化のためには、プリント基板の微細化が必要となる。プリント基板の製造法として、大量 生産に優位なサブトラクティブ法と、微細回路形成に有利なセミアディティブ法があるが、本研究 ではセミアディティブ法に着目した。