アルマイト処理における封孔処理への電解硫酸技術の適用

摘要

弊社独自技術に電解硫酸がある。この技術は文字通り硫酸を電気分解し得られる強酸化剤を利用するものである。現在半導体製造プロセスにおいて、レジスト剥離工程及びシリサイド形成での金属選択エッチング工程等に利用されている。この酸化力を生かし、他分野弧仙女用途への展開ができないか検討している中、アルマイト処理における封孔処理に着目した。現在封孔処理には沸騰水法が主に採用されているが、処理時間が長い、封孔完成度が低い、処理コストが高いといった課題を抱えている1）2）。その課題を解決できる見込みを得たので報告する。