成膜法およびゴム基材によるDLC膜の形態と摩擦特性

摘要

油空圧機器では，摺動機器や流量制御機器の駆動部にゴム製シール材が多用されている。ゴムは摩擦が大きいため，通常潤滑油やグリースを用射て摩擦の低減が図られている．シール材の省資麻化とシール部の省エネルギー化を進めるために，長寿命化と低摩擦化が課題であり，その方策として，ゴム表面へのDLC（Diamond-like carbon）コーティングが考えられる．本研究は，摩擦申摩耗の低減を田指してDLCをゴム表面へ蒸着形成し、DLCコーテッドゴムの表面形態と摩擦特性に及ぼす戚膜法と基材の影響について調べた．