ICPプラズマ支援パルススパッタリング法を用いたDLC成膜におけるプラズマ診断

机译：使用ICP等离子体辅助脉冲溅射法在DLC成膜中的血浆诊断

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我々は，これまでに生体機能材料や輸送機器部品としてその用途拡大が期待されている樹脂基材上への水素含有DLC（a-C：H）膜の形成を目指し，低インダクダンスアンテナ誘導結合型プラズマ（ICP-LIA）とマグネトロンスパッタリング脚S）によるプラズマを併用したハイブリッドプロセスの検討を行ってきた．その結見100°C以下の低温で，バイアス電圧を印加させることなく樹脂基材上に水素を含有した高硬度を有するDLC（a-C:H)膜の形成に成功した.さらにスパッタ電源の高電かウレス（HiPIMS）化によりさらに高硬度しうることがわかった。本研究ではノ、イブリッドプラズマによるかC：H膜の成膜メカニズムの解明を目的として，成膜中のプラズマの発光分光およびチャンバー内のガスの質量分析を行った．

机译：我们曾经生物功能材料和运输设备部件作为其应用膨胀到树脂基板含氢预计（AC：H）旨在形成膜，低导管舞蹈天线感应耦合等离子体混合过程已经研究了使用血浆（ICP-LIA）和磁控溅射腿S）。成功地形成DLC（AC：H）。具有氢的树脂基板上形成高硬度的膜而不在低于100℃或更低的低温下施加偏置电压。此外，溅射电源的高功率已经发现它可以通过催促（Hipims）进一步难以硬度。在该研究中，我们在腔室中的膜形成和气体的质谱期间进行质谱，以阐明Cabrid等离子体的C：H膜的膜形成机制。

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来源
《表面技術協会講演大会》|2019年|293页|共1页
会议地点
作者
國次真輔; 中西亮太; 小山裕雅;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类 TG17-532;
关键词
低インダクダンスアンテナ; 誘導結合型プラズマ; DCパルスマグネトロンスパッタリング; ダイヤモンドライクカーボン; プラズマ発光分光;

机译：低电感天线;电感耦合等离子体;直流脉冲磁控溅射;菱形碳;等离子体发射光谱;

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