アノード酸化ポーラスアルミナメンブレンの加熱結晶化過程における構造変化

摘要

アルミニウム（Al）のアノード酸化により得られるポーラスアルミナ皮膜は，ナノメートルスケールの直管状の孔を持つため，皮膜底部を貫通孔化処理することでメンプレンフィルターとして利用することができる。著者らはこれまでに，α－アルミナメンプレンを作製するために電解研磨液（過塩素酸含有エタノール）中での皮膜の剥離処理法りや化学的耐性および細孔分布測定による構造評価2）を行ってきた。本研究では，熱処理に伴うポーラスアルミナ裏面の孔形状の変化に着目し，α－アルミナに転移するまでの各温度における結晶性と焼結による孔形状の変化との関係を検討した。