Agインクを用用いたフッ素樹脂の表面金属化－プラズマ処理とグラブト化を組み合わせた表面改質の応用

摘要

フッ素樹脂は，耐熱性に優れ，低誘電率, 低誘電正接であるため理想的な高周波プリント配線基板材料といえる．しかし，表面エネルギーが低いため，密着性に優れた金属薄膜の形成が非常に困難である。そこで現在は，密着強度を改善するため，ナトリウムナフタレン錯体を用いたエッチング法によりフッ素樹脂表面を改質している．この手法は，（1）エッチング溶液が人体に有害である，（2）廃液処理が高コストである，（3）表面粗さが増加し、高抵抗や高伝送損失の要因となる，という問題がある．そこで我々は，ナトリウムナフタレン錯体を用いずに密着強度を改善するため，大気圧プラズマ照射と表面グラフト化によりフッ素樹脂の表面改質を行った．さらに，工程数を減らすために無電解めっきは適用せず，Agナノインクを用いた表面金属化を行った．