バリヤー型アノード酸化アルミナ皮膜の結晶性と誘電特性

摘要

中高圧用アルミニウム(Al）電解コンデンサの誘電体皮膜は，水和処理，アノード酸化，熱処理，再アノード酸化の多段階電解で形成される。著者らはこれまでに，多段階電解の各化成段階に同一種の電解液を用いた場合，皮膜の結晶性は電解液種で異なり，概ね結晶性の高い皮膜では高いCV積（静電容量と耐圧の積)を示すが，漏れ電流も増加することを報告した1）。本研究では，皮膜の誘電特性に及ぼすアニオンの混入挙動と結晶性の影響について明らかにすることを目的として，皮膜生成時の電流密度依存性について検討した。