非晶質炭素系薄膜の機械特性と熱特性に及ぼすミクロ構造の影響

摘要

非晶質炭素系薄膜の中でもテトラヘドラルアモルファスカーボン（ta-C）膜は高硬度、低摩擦係数、化学的安定性などにより、ハードディスクや冶工具の表面保護膜などに応用されている。膜の特性として、硬さ、ヤング率などの機械特性や摩擦磨耗などのトライボロジー特性の研究が盛hに行われているが、関連すると考えられる熱伝導率などの熱特性やミクロ構造との関連に関しては報告が少ない。本研究ではta－C膜の機械特性と熱特性に及ぼすミクロ構造の影響について報告する。