デジタル画像相関法を用したスペックル干渉法における測定対象の位置決め許容範囲拡大

摘要

レーザ干渉計測は非接触かつ高感度でありレーザ波長の1/10～1／100もの精度を得られる半面，外乱の少ない計測環境が要求される．そのため一般的に一連の計測途中で計測系と計測対象が離れるようなことはない．このことは実環境での計測や実機の計測に対するレーザ干渉計測の適用範囲を大きく制限している．実機への適用には，粗面を計測可能な計測手法が適しており，代表的なものに電子スペックルパターン干渉法（Electronic speckle Pattern interferometry：ESPI）がある．本手法は様々な応用法［1］が提案されている．またこれは静的な現象だけでなく動的な現象に対する適用［2］も進められている．