arcs (electric); image scanners; ion plating; micro-optomechanical devices; microdisplays; optical projectors; optical scanners; piezoelectric actuators; silicon-on-insulator; sputter etching; 11.2 kHz; MEMS optical scanner; PZT piezoelectric material; SOI wafer; SOI-;
机译:投影显示:激光和MEMS使视频投影超越了HDTV
机译:常规机构菌株梯度塑性框架的悬臂MEMS执行器永久弯曲偏转的新模型
机译:对基于MEMS多层执行器的静电挠度建模
机译:用于MEMS图像投影显示的SOI-PZT执行器的快速谐振模式和慢静态偏转的组合
机译:静态和电动形状的MEMS反射镜。
机译:具有可调静态挠度和可调谐频谱共振频率的纳米悬臂用于纳米机械质量传感器
机译:模拟基于MEMS多层致动器的静电挠度
机译:用于超高分辨率投影显示器的基于mEms的光阀