Fully-Functional Tip-Tilt-Piston Micromirror Array

机译：全功能尖端倾斜式微镜阵列

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A fully-functional 2times2-element array of tip-tilt-piston micromirrors with large deflection angles and large piston range is presented. The fabrication of micromirrors with different technique is described

机译：提出了具有大偏转角和大活塞范围的尖端倾斜活塞微镜的全功能2箱2元件阵列。描述了具有不同技术的微镜的制造

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来源
《IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications Conference》|2006年||共2页
会议地点
作者
Milanovic V.; Castelino K.; McCor D.;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类自动化技术、计算机技术;
关键词
micro-optomechanical devices; micromirrors; optical arrays; optical fabrication; deflection angles; micromirror fabrication; piston range; tip-tilt-piston micromirror array;

机译：微光机械设备;微镜;光学阵列;光学制造;偏转角;微镜制造;活塞范围;尖端 - 倾斜 - 活塞微镜阵列;

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