シリコンマイクロジェットポンプの作製と基礎評価

摘要

一般にバルブレス方式のマイクロポンプではディフユーザ型が用いられるが、本研究ではシリコンウェハを用いた新しい十字型の流路構造を提案した。ノズルと、吸気側と排気側に大きな断面積の差をつけた十字型流路構造を実現することで、バルブを用いずに一方向性のあるガスの流れを実現できる。