Fe－45at％Pd合金薄膜の磁場誘起運動歪に及ぼす成膜時の基板温度の影響

摘要

本研究グループではこれまでにFe－SmやFe－Tbなどの磁歪材料について成膜条件を変化させることで磁歪量や素子全体の運動歪が向上することを確認した。しかしながら、本研究グループが報告した磁歪感受率において優れた特性を示すFe－45at％Pd合金薄膜については、成膜条件と各歪の関係について詳しく調査されていなかった。そこで本研究では、DCマグネトロンスパッタリング法によりFe－45at％Pd合金薄膜素子を作製し、その特性に及ぼす成膜時の基板温度の影響について検討を行うことを目的とした。