PZT; thick film; sol-gel; cantilever beam;
机译:基于纳米结构的PZT薄膜的压电悬臂梁的制作
机译:使用沉积在SOI晶片上的溶胶-凝胶衍生的PZT厚膜获得的扁平压电悬臂的制造和性能
机译:基于PZT的压电悬臂梁的Taguchi设计,具有宽频频率的最大和鲁棒电压
机译:基于纳米结构PZT薄膜的压电悬臂梁制造
机译:自激,自感应PZT /二氧化硅压电微悬臂梁传感器的合成,制备和表征
机译:压电微机械超声换能器上硅基PZT纤维外延薄膜的制备与表征
机译:基于PZT薄膜阵列的基于MEMS的压电悬臂,可从低频振动中收集能量
机译:压电ZnO薄膜的表征及压电微悬臂梁的制作