光散乱式気中粒子計数器における計数効率の大粒径側への校正範囲拡張につっ射て

摘要

光散乱式気中粒子計数語（LPC）はクリーンルームにおける空気清浄度の測定を始め、様々な環境の空気中に浮遊する粒子の大きさ（粒径）及び個数の測定に幅広く利用されている。（一財）日本品質保証機構では、以前よりLPCの性能試験を実施しており、これまでに（独）産業技術総合研究所（AIST）と共同でLPCの性肯旨平価に用いられる「計数効率」1），カの校正の不確かさ評価の報告を行ってきた。