マイクロフライス加工用水静圧スピンドルの温度変化（第1報,非回転時の温度変化）

摘要

スピンドルは工作機械の加工精度を決定する重要な要素であるため，超精密工作機械のスピンドルには高い案内精度と高い軸受剛性が必要となる．そのため，静圧軸受が組み込まれた静圧スピンドルが使用される．静圧スピンドルは，非接触支持による高い回転精度が達成される．しかし，静圧軸受には加圧された潤滑流体が供給され，軸受部を通過したのちに，大気中に放出されるため，潤滑流体の大きな圧力損失は避けられない．また，軸受すき間における流体の粘性に伴う動力損失も発生し，これらの総合的な作用による発熱が生じる．