変断面両端固定梁を有する静電駆動MEMS共振器の簡易設計手法の構築

摘要

本研究では，マイクロマシここング技術を用いてナノギャップをもつMEMS共振器［1］，［2］を開発することを目的とする．共振器デバイス構造に，変断面を有する両端固定振動子を採用し，MHz帯域の共振周波数の実現を目指す．変断面を有する両端固定梁の共振周波数解析では，応力集中に起因するコンプライアンスの非線形性によって，Rayleigh-Ritz理論の利用が困難であることから，本研究では変断面によるコンプライアンス変化を考慮した簡易的解析手法を確立した．