炭素系硬質薄膜の極表面極表面構造変化層の機械的特性評価

摘要

この超低摩擦現象は摩擦面がグラファイトのような構造へ変化し，極表面が低せh断になっていると報告されている．このように硬質炭素系薄膜において極表面層の構造変化はその摩擦特性を考える上で重要である．その機械的特性を実験的に明らかにすることが必要であるが，従来のナノインデンテーション法などでは薄い極表面層の機械的性質や厚さを計測することは困難である．そこで本論文ではCN_x膜を始めとした硬質薄膜の極表面層の機械的特性評価を原子間力顕微鏡（Atomic Force Microscopy，AFM）を用いて行った研究例について述べる．