軟質金属とDLCから形成したナノ周期固体潤滑膜のトライボロジー特性

摘要

トライボロジー特性の改善を目的とし，新たな固体潤滑膜の適用が期待されている．DLC （Diamond-like carbon）膜は低摩擦，耐摩耗性，平滑性などの特徴を有する薄膜である．一方異なった材料をナノメータ周期で積層したナノ周期積層膜を形成することにより，摩擦·摩耗特性の向上が行われている．本研究はAu又はAg膜とC膜のナノ周期積層膜のトライボロジー特性を解明するために，ナノインデンテーション試験による硬さの評価，弾性率の評価，ボールオンディスク型摩擦摩耗試験機によるトライボロジー特性を評価した結果を報告する．