有機修飾系リン酸塩材料を用いた微小素子表面修飾と光波制御

摘要

材料に光硬化による微細加工性を賦与すること、また添加光機能中心の多様化を図ることで、素子サイズを変更することなく機能賦与することや短尺化による高集積化が可能となる。本研究では光硬化性を有する官能基で修飾したケイリン酸塩前駆体を合成し、易加工性のフォトキュラカレなハイブリッド材料を作製した。本材料の特長を利用し、微小光学素子の表面修飾を目的とした機能性コーティングとしての可能性を検討した。