水粒子を用いた高圧マイクロジェットによるEILD研削の後洗浄に関する研究一第1報 高圧マイクロジェットの洗浄法原理とEILD加工後の洗浄工程への適応

摘要

Electrolytic In-Process Dressing（EILD）研削は，シリコンウェハ表面の研削，レーザや天文機器用の光学素子，セラミック材料でナノオーダの加工精度を実現している．EILD研削でナノオーダの加工を行った場合，ナノオーダ研削屑が加工対象物に付着すると，その加工対象物は不良となる可能性があるため，研削後の洗浄は大変重要となる．今回，EILD研削で行った研磨対象物を考案した高圧マイクロジェット精密洗浄装置（High Pressure Micro Jet System，以下HPMJ）で洗浄し，洗浄性の評価を行った．この洗浄方法は高圧水を液滴下して，対象物に噴射するために，洗浄力が高くかつオンマシン化が容易に実現できる．