FIB/EB複合リソグラフィーにより作製したカーボンナノ振動子の特性評価

摘要

近年，メカニカル振動子を構成要素の一つとするMEMS/NEMS (Micro/Nano Electromechanical Systems)が様々な方面で注目を集めている[1]．これはメカニカル振動子の共振周波数の変化により，質量や圧力などの微小な物理量を検知することが可能なためである．従来これらの微小デバイスは2次元微細加工技術により作製されてきたが，より機能的なデバイスを作製するため3次元微細加工技術が求められている．しかし，一般的に微細な3次元構造の作製は複雑な工程と長時間を要する．FIB/EB複合リソグラフィー(DBL) は，短時間で簡易に3次元構造の作製が可能な技術であり[2]，Q値の高い振動子が作製されたことが報告されている[3]．そのためDBLは高性能な振動子デバイスを作製するポテンシャルがあると考えられるが，作製された構造の特性(デバイス設計に必要な機械特性や，振動の自己検知に必要な電気特性など)は明らかではない．そこで本研究では，DBLによるデバイス作製を見据え，DBLにより作製されたカーボンナノ振動子の機械的·電気的な特性を多角的に評価した．