研磨布の表面粗さ観察方法とその応用研究第2報

摘要

これまでに研磨布の表面状態を観察する手法として粗さ曲線から高度分布を算出する方法が報告されている。本研究の第1報ではこの手法を応用し研磨中の研磨布表面状態の変化が研磨圧によるものか研磨残渣の堆積によるものかを検証した。その結果研磨時間と共に研磨布表面上に平滑な面が多くなることが確認され、その変化は研磨残渣による目詰まりが支配的であることが証明された。しかしながら、研磨条件によってはFig.1のように樹脂自体が平滑になるケースもあるため、表面形状と研磨性能の関係を議論するためには、樹脂自体の変形にも言及していくことが必要と考えられる。本発表では粘弾特性の異なる2種類の研磨布による研磨を通してその特徴について検証した。