面領域表面性状測定機を対象とした粗さ用標準面実量器の開発

摘要

工業製品の緻密化や複雑化により，表面性状測定が輪郭曲線（2D）方式から面領域（3D）方式へと移行している．また，表面性状測定機は従来の触針式に加え，非接触レーザプローブ式や光干渉式の表面性状測定機が加わり，より柔軟性のある測定が可能となっている．ところが，JIS においては触針による2D 方式に関する規格のみが規定されており，3D 方式に関する規格は現在審議中であり，評価手順や表面性状パラメータ，校正手順等はまだ規定されていない．そのため，異機種間における測定データの等価性が保証されていない．表面性状測定機の総合的な性能検証には，粗さ用標準が使用される．しかし，ISO においては3D 方式の性能検証に2D 粗さ用標準片を使用する案が検討されている．そこで本研究では，多種の表面性状測定機の性能検証に対応可能であり，トレーサブルな3D 粗さ用標準面の開発を目的とする．