ナノ表面研削／ELID研削における新プロセステクノロジー

摘要

先端研究から産業界に至るナノ·マイクロ領域の進歩に伴い，様々なキーコンポーネントの研究開発が進hでいる．光·電子，表面機能，ダウンサイジングを始め，機能と構造とを兼ねるデバイスの創成には，ナノ精度（形状と粗さの両立）を目指した微細加工が重要と認識される．こうした観点から，サイズ，精度，機能を目的に応じて選択·制御できる独自の新しいプロセステクノロジーの創出に努めている．こうした背景において，加工プロセスの進化と，それによる加工対象物のダウンサイジング，そして自由曲面形状に対応した形状加工に対応したソフトウェアシステム，さらには環境制御による加工表面機能の創成などをターゲットとして，研究開発を進めている．本報では，ELID の原理を進化·発展させ，他の加工プロセスとの連携も視野に入れ推進しているいくつかのアプローチについて紹介する．