レジスト表面の形状計測（第二報）－マルチボールカンチレバー基礎実験装置の開発

摘要

現在，コンピュータのダウンサイジング化の傾向から，半導体分野においてもICチップの微細化，微小化が進hでいる．その中でレジスト表面を非破壊で計測する手法が強く望まれている．そこで，本研究ではAFM の様な機械的接触を伴う測定法を用いてレジスト表面形状を高精度に計測することを目的とする．レジスト表面はやわらかいことから，測定においてはまず変形させないことが求められる．また，その凹凸は非常にゆるやかなことから，今回開発する測定装置には横方向よりも縦方向の分解能が必要となってくる．本報ではカンチレバーを250μm おきに8 本並べ，各先端に直径10μm の球を取り付けたマルチボールカンチレバーを用いた表面形状計測装置を試作し，手法の解析を行った．