ナノメートル面内方向スケールの開発（第一報）認証標準物質候補のピッチ測定と不確かさ評価

摘要

認証標準物質の頒布を視野に入れAFM,走査型電子顕微鏡(SEM)や光回折計(OD)など各ナノメートル計測装置に対応可能なナノメートル面内方向スケールの設計及び試作を行った．また差動式測長AFM を用いて面内方向スケールのピッチの精密測定及びその不確かさ評価を行った．測定及び不確かさ評価の結果，本面内方向スケールのピッチ平均値がピッチ公称値に非常に近く，拡張不確かさもピッチ公称値の0.5%以下と十分に小さなものであり，認証標準物質(CRM)の候補になりうるものであった．今後は，持ち回り測定を通して，本面内方向スケールがSEM やODに適したCRM であるかどうか検証する予定である．