1nm 分解能の簡易粗微動ステージの運動制御（続報）－機構と制御パラメータの最適化による動的追随偏差の低減

摘要

ナノメートル領域の分解能と数mm 以上の可動範囲をもつ簡易な構成のステージ機構の開発と評価を行なっている．これは，精密なアクチュエーションを行なうサーボモータやボイスコイルモータなどに比べて小型で安価なステップモータのもつ定位置性を活用し，その分解能や過渡応答性を補償するために微動機構として圧電アクチュエータを備えたものである．位置決め動作のみならず粗微動連続運動制御を行なう制御系を構築し，その特性評価を既に報告した．その際，問題としてあげられたいくつかの種類の追随偏差を解消するために，ドライバの差し替えを含む機械的および制御パラメータの調整を試みたので報告する．