超音波楕円振動切削加工法による難削材の超精密切削加工

摘要

物理学で荷電粒子を加速させるために用いられる加速器の主要部分である加速管セルは，現在無酸素銅を用いて製作されているが，荷電粒子の通過により高温となるため，より高温特性に優れるモリブデンに代えようとする動きがある．しかし，モリブデンは常温で粒界脆性 を示すため，超精密加工は困難な材料とされている． 本研究では，当研究室で考案され，焼入れ鋼など難削材の超精密切削加工を実現している超音波楕円振動切削加工法を適用することでモリブデンの超精密切削加工の可能性について検討を行った．